產(chǎn)品中心
products燃燒式尾氣處理設備

Nitsu是被設計來(lái)處理廢氣的燃燒式廢氣處理系統,特別是那些用在IC,TFT LCD和光伏產(chǎn)業(yè)中thin film及dry etching 制程各種尾氣, 尤其針對化學(xué)氣相沉積制備的SiH4, NF3和H2的大流量的廢氣。
創(chuàng )新的旋流燃燒器, 反應腔和排氣管的優(yōu)秀比例量達到巨大的處理量,優(yōu)良的減排性能,低排氣溫度和長(cháng)期穩定性。
創(chuàng )新的雙階段防回火裝置提供氣體燃燒器系統的主動(dòng)保護。
輕松切換CH4或C3H8和自動(dòng)空氣/燃料比調節減少人工調整的風(fēng)險。
智能人機界面和自動(dòng)粉末清潔功能提供簡(jiǎn)單操作,更長(cháng)的維護周期,更短的維修時(shí)間,更長(cháng)的部件壽命和更低的維護成本。
NITSU優(yōu)勢
高安全性
SEMI 系統安全認證: S2-0706:2006, SEMI S8-0307 certified by TUV.
控制回路認證: EN 60204-1 certified by TUV.
安全回路認證: EN954-1硬件連鎖雙安全回路,具失效安全,容錯,自我檢查功能
certified by TUV.
先進(jìn)燃燒管理系統: According to NFPA 86.
真空管道回火保護系統: Pumping line flash back protection system.
真空管道側漏裝置: Pumping line leakage detect system.
全自動(dòng)系統運行建立與歷史記錄: 1-year huge capacity history record.
節能高效
現金穩定機構系統: DRE99%以上, Reliability99%以上, MTBF20000hr Guaranty!
處理量大可選擇機臺互相backup function: 全年免停機
多段式自動(dòng)節能控制: 雙瓦斯燃料,依CVD狀態(tài)自動(dòng)調整瓦斯及空燃比,節能50%以上
高效率冷卻系統設計: 高效冷卻, 可減少常務(wù)耗能30%以上
燃燒式自動(dòng)清潔裝置: 標準配備Auto scraper, 燃燒式自動(dòng)清潔、保養周期長(cháng)3~16月
先進(jìn)人機工程設計: 操作簡(jiǎn)單,,保養容易快速, 每次約~30 minutes
低成本
低建置成本: 簡(jiǎn)化廠(chǎng)務(wù)周邊配套工事,省錢(qián)省空間.
低運行成本: 集中處理尾氣排氣系統,,低成本高效能,現場(chǎng)不用水,維護保養簡(jiǎn)單,設備更換耗材零件少,節省運行成本